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반도체
반도체 산업을 위한 솔루션
전동 액추에이터
다회전HM 시리즈
• 25~3,000 Nm• 고 정밀 비례제어
리니어HL 시리즈
• 5,000~25,000 N• 비례제어• 현장 제어
쿼터턴HQ 시리즈
• 80~9,000 Nm• 비례제어• 현장 제어
쿼터턴HQ-006
• 60 Nm• 비례제어
공압 액추에이터 & 기어박스
스카치 요크ET 시리즈
• 495~250,000 Nm• 유압식 수동 조작기• 공압 악세서리 튜빙
랙 & 피니언HP 시리즈
• 4~1,878 Nm• 복동식/단동식
디클러치 기어HGO 시리즈
• 블록-블리드 밸브 적용
리미트 스위치 박스
일반형APL-2
• IP67
일반형APL-3
• IP67• CPT: 위치 전류 변환기
방폭형APL-5
• Ex db IIC T6• IP67• CPT: 위치 전류 변환기
일반형APL-9